您提供的信息已經很詳細地描述了工業上制取氧氣的主要方法——分離液態空氣法，以及其他輔助方法如變壓吸附法、膜分離法和化學法。這里對這些內容進行一個簡要的總結與補充：

 分離液態空氣法

 原理：基于空氣中氮氣（沸點196℃）和氧氣（沸點183℃）的沸點差異，通過低溫加壓技術將空氣液化，并利用精餾技術實現兩者的分離。

 關鍵步驟：

   預處理：去除空氣中的水分、二氧化碳等雜質，以避免它們在低溫下凍結堵塞設備。

   壓縮與液化：空氣被壓縮并通過深度冷凍技術液化。

   精餾分離：液態空氣進入精餾塔，利用不同組分的沸點差異進行分離。

 其他工業制氧方法

 變壓吸附法：適用于小型設備或醫療領域，利用分子篩選擇性吸附氮氣來富集氧氣。

 膜分離法：使用選擇性滲透膜來分離氧氣，但得到的氧氣純度相對較低（約90%），需要多級分離提高純度。

 化學法：例如電解水，雖然也能產生氧氣，但由于能耗高，通常只用于特殊場景。

 技術發展與改進

隨著技術的發展，制氧技術不斷進步，包括優化冷凍循環效率、提升裝置規模等方面，以滿足日益增長的需求。

特別是中國自20世紀50年代起，在制氧裝置的大規模化方面取得了顯著進展，實現了每小時數千至數萬立方米的產能。

這種綜合應用物理分離技術、吸附技術以及膜分離技術的方法，能夠有效地根據不同的需求提供相應的解決方案，不僅提高了氧氣生產的效率和純度，同時也降低了成本。