超純氫雜質控制有多嚴？GB/T 3634.2-2025解析

GB/T 3634.2-2025《氫氣 第 2 部分：純氫、高純氫和超純氫》即將于2026年5月1日實施，全面替代 2011 版舊標。新標對超純氫的雜質控制設立了近乎嚴苛的標準。作為服務半導體、航天航空等高端領域的關鍵氣體，超純氫的純度直接決定終端產品質量與設備安全，新標準的出臺為行業樹立了清晰的質量標桿。

新標準明確，超純氫的氫氣純度（摩爾分數）需≥99.9999×10?2，意味著雜質總含量必須≤1.0×10??（百萬分之一）。各類關鍵雜質的限量要求更是精準到痕量級別：氧、一氧化碳、二氧化碳含量均需＜0.1×10??，相當于十億分之一的占比；氬含量＜0.2×10??，氮含量＜0.4×10??，水分含量＜0.4×10??，總烴（以甲烷計）含量＜0.3×10??。     

如此嚴苛的雜質控制，源于高端應用場景的極致需求。在半導體芯片制造中，微量氧或水分會導致硅片氧化，碳系雜質易形成沉積膜，直接造成芯片缺陷；精密化工領域，惰性雜質會降低催化效率，硫系雜質可能導致催化劑中毒；航天航空場景中，水分凝結成冰可能堵塞管路，影響設備安全運行。新標準的指標設定，正是為了匹配 7 納米及以下先進制程、高端催化劑制備等場景的技術要求。

為確保雜質檢測精準，新標準明確了專屬檢測方法與仲裁依據：氧含量采用 GB/T6285 電化學法，氬、氮等雜質采用 GB/T28726 氦離子化氣相色譜法，水分采用 GB/T5832.3 光腔衰蕩光譜法，總烴采用 GB/T8984 火焰離子化氣相色譜法。這些方法的檢測下限均達到痕量級別，為超純氫雜質管控提供了技術支撐。

同時，新標準對超純氫的檢驗規則也做出嚴格規定，要求超純氫必須逐一檢驗，任一指標不符合要求即判定該批產品不合格，從流通環節守住質量底線。在包裝運輸環節，超純氫需使用符合 GB/T5099 或 GB/T11640 標準的氣瓶，標志、標簽需符合多項國家標準，確保全鏈條雜質防控。

GB/T3634.2-2025 的實施，不僅提升了超純氫的質量門檻，更推動行業在提純工藝、檢測技術等方面的升級。這一極致標準的落地，將為我國高端制造業的高質量發展提供堅實保障，助力氫能產業向更高附加值領域延伸。

江蘇科海檢驗有限公司是《氫氣第2部分：純氫、高純氫和超純氫》（GB/T 3634.2—2025）國標起草單位之一，現已具備新標檢測能力。公司嚴格按照GB/T 3634.2—2025進行工業氫、純氫、高純氫、超純氫檢測，確保數據的準確性，助力企業順利接軌新規。