在高端制造領域，如半導體光刻、激光器填充、超臨界流體萃取及食品級惰性保護等應用場景中，高純二氧化碳（純度≥99.99%）的品質直接關系到工藝穩定性與產品良率。

其中，氧氣作為強氧化性雜質，即使在ppm（10??）甚至ppb（10??）級別，也可能引發材料氧化、催化劑中毒或系統腐蝕。

因此，GB/T 23938—2021《高純二氧化碳》國家標準對氧氣含量設定了嚴格限值：99.99%級≤10 ppm，99.995%級≤5 ppm，最高純度99.999%級則要求≤1 ppm。

根據標準第7.2條，氧氣含量的測定應優先執行GB/T 6285《氣體中微量氧的測定 電化學法》。該方法基于電化學傳感器原理，通過氧在陰極還原產生電流信號，實現定量分析。

其優勢在于響應速度快（通常<30秒）、操作簡便、成本較低，適用于生產現場的快速質量控制。然而，電化學傳感器存在壽命限制（通常6–12個月），且易受CO?高濃度背景干擾，長期穩定性需依賴頻繁校準。

對于超高純（99.999%）等級產品，標準允許采用GB/T 28726《氣體分析 氦離子化氣相色譜法》（HID-GC）進行測定，前提是配備氧/氬專用分離色譜柱。

HID檢測器具有極高的靈敏度（可達0.1 ppb）和寬動態范圍，能有效分離CO?基體中的痕量O?，避免交叉響應。該方法雖設備成本高、操作復雜，但數據可靠性強，特別適用于第三方檢測或仲裁分析。

值得注意的是，標準明確規定：當檢測結果存在爭議時，以GB/T 6285方法為仲裁依據。這意味著實驗室在建立檢測體系時，必須同步驗證兩種方法的一致性，

并嚴格控制采樣環節——包括使用EP級鈍化不銹鋼管線、避免橡膠密封件、采樣前充分吹掃系統（≥3倍體積）等。

綜上，氧氣檢測不僅是技術問題，更是質量控制體系的關鍵環節。唯有深入理解標準邏輯、合理選擇方法、嚴控操作細節，方能確保高純二氧化碳在尖端應用中的安全與效能。